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精微影像儀microline 300

品牌: VIEW
產(chǎn)地: 美國
所在地: 江蘇 蘇州 昆山市
批準(zhǔn)文號: 查詢批號
有效期至: 長期有效
最后更新: 2020-04-01 14:15
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精微影像儀microline 300

關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化光學(xué)測量系統(tǒng)

 

 

MicroLineTM 300影像測量儀是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動(dòng)平臺,可對200mm的晶圓上0.5μm400μm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的精密視場測量。

 

n  200 x 200mm精密X-Y平臺

n  基于視覺的自動(dòng)聚焦獲得*佳影像質(zhì)量

n  自動(dòng)照明可編程光強(qiáng)

n  用于測量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁性能

n  完全可編程的序列,包括自動(dòng)聚焦關(guān)鍵尺寸測量

n  電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器,軟件控制

n  可選的透射照明

 

技術(shù)規(guī)格:

- 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平臺運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸定位和快速釋放

- 視場內(nèi)的測量精度: 0.010μm (100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場內(nèi)0.5μm - 400μm

- FOV測量重復(fù)性: <0.010μm on wafers (100x物鏡)

<0.005μm on photomasks (100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素?zé)?/span>, 反射光

       自動(dòng)照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

 

MicroLine 300的典型應(yīng)用包括:

l  晶圓

l  光罩

l  MEMS

l  微型組件

 

測量類型:

n  關(guān)鍵尺寸:

線寬  Linewidth

節(jié)距  Pitch

間隙  Spacing

 

n  Overlay

             Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error


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